MEMS扫描微镜的研制和应用

报告题目：MEMS扫描微镜的研制和应用

报告人：沈文江  研究员

报告时间：2021年11月4日上午10：00

报告地点：致远楼301

报告邀请人：倪卫海

报告摘要：随着可见光激光二极管的发展，基于DLP投影技术的激光电视在消费市场上取得了成功。基于MEMS扫描微镜的激光显示解决方案通过扫描微镜对激光束的反射和扫描，同时结合激光器亮度的条子，将图像投射到所需的视野上。我将介绍在苏州纳米所开展的与激光显示相关的研究，包括GaN衬底、蓝绿激光二极管、二维扫描MEMS反射镜和LBS显示系统。MEMS微镜扫描技术可用于消费类电子设备，比如微型移动投影、嵌入式手机投影、AR眼镜中的微型显示单元。它也可以用作汽车行业，如AR HUD的微型显示器、自适应汽车前灯、MEMS激光雷达。在本次演讲中，我将讨论MEMS 扫描技术在这些应用中的优势和挑战。

报告人简介：沈文江，中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所任研究员，博士生导师。清华大学材料科学与工程系获得本科和硕士学位，2004年获得加州大学洛杉矶分校获得机械工程博士学位。2005年到2011年在美国Innovative Micro Technology (IMT) 公司工作期间，曾主持研究多个交叉学科项目，获得2010年R&D 100 Awards 和2010年 Pittcon Editors’Gold Award。沈文江博士于2011年11月加入中科院苏州纳米所，入选第二批国家“****计划”，中科院“百人计划”研究员。沈文江博士的在苏州纳米所研究领域主要集中在微纳加工技术的开发和微机电系统（MEMS）的设计及应用。课题组以微纳加工技术和设计技术为核心，开发MEMS扫描微镜器件，并应用于新型的激光显示、3D智能感知、以及激光雷达等领域。