师资队伍

辛煜

姓名:辛煜
职称:教授
部门:物理科学与技术学院
联系方式:
0512-67872902

个人简历:

1989年-1993年 苏州大学 物理系 物理教育 本科;

1993-1996年,苏州大学 物理系 凝聚态物理 硕士;

1996年留校任教,助教;

1998年,苏州大学 讲师;

1998年年在职攻读凝聚态物理博士学位,2002年取得凝聚态物理博士学位;

2003年在南京大学物理系从事博士后的研究工作。

2004年,苏州大学 副教授;

2010年,苏州大学 教授。


获奖、荣誉和学术兼职:

获得过苏州市科技进步二等奖,省教委自制仪器评比二等奖,省科技进步三等奖。

2011年获得江苏省教育厅颁发的高等教学成果二等奖。

多次获得本科生毕业论文和本科生物理与实验科技作品竞赛项目的优秀指导教师称号。

  

任教课程:

集成电路工艺、计算机辅助设计、AutoCAD


研究领域:

目前主要进行低温等离子体源技术和低温等离子体物理与应用的研究工作。

  

基金项目:

主要参加了江苏省教委基金、省自然基金、国家自然科学基金等项目的研究,参加过863-804主题子项目。

主持过两项项国家自然科学基金项目。

作为主要负责人参加了一项国家自然科学基金重点项目和一项省高校重点项目。

现主持一项省科技厅前瞻性产学研联合项目和一项国家自然科学基金项目。


 代表性论著、研究成果:

1 A simplified collisional-radiative model for characterization of a low pressure capacitively coupled argon plasma, Chinese Physics B 20(2011)015207

2  Investigation on capacitively coupled argon plasma driven by dual frequency with different frequency configurations, Plasma Science and Technology,13 (2011)571-574 

3 Effect of discharge parameters on properties of DLC films prepared by dual-frequency capacitively coupled plasma source, Plasma Science and Technology, 12(2010)53

4 Analysis of optical emission spectroscopy in a dual-frequency capacitively coupled CHF3 plasma, Physics of Plasmas, 16,043509(2009)


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