基于等厚干涉的温度可视化装置 ——集成电路热故障检测
时间: 2022-09-20
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这是一种基于等厚干涉的温度可视化装置,可用于表面温度的实时监控,具有高灵敏度,原位可检测的特点,通过双层玻璃内,干涉圆环的改变,可以实现局部热源的检测,因此将可用于集成电路热故障的检测。本装置包括安装架、升降台、单色光源、干涉显示装置、电源和帕尔贴,单色光源提供照向所述干涉显示装置的单色光,从而在干涉显示装置上形成干涉条纹。电源为帕尔贴供电,当电源电压变化时,帕尔贴的温度发生改变,干涉条纹也随之变化。